致力于精密真空技术产品及相关增值服务的研发制造企业
精密机械零件
这种真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的，而晶圆容量几乎不变。这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。
产品的特点有改善的机台定位的静态、动态响应，抽气时间、稳定时间缩短等等。
